【摘 要】
：
PREVAIL作为下一代电子束投影曝光技术 ,采用可变轴浸没透镜 ,对以硅为支架的碳化硅薄膜进行投影微缩曝光。在 1mm2 子场的情况下 ,运用步进扫描曝光方式 ,在 1 0 0nm临界尺
【机 构】
：
中国科学院微电子中心光掩模实验室,中国科学院微电子中心光掩模实验室,中国科学院微电子中心光掩模实验室,中国科学院微电子中心光掩模实验室,中国科学院微电子中心光掩模实验室,中国科学院微电子中心光掩模实验
论文部分内容阅读
PREVAIL作为下一代电子束投影曝光技术 ,采用可变轴浸没透镜 ,对以硅为支架的碳化硅薄膜进行投影微缩曝光。在 1mm2 子场的情况下 ,运用步进扫描曝光方式 ,在 1 0 0nm临界尺寸下具有较高的产量 ,与EUVL技术一起成为下一代曝光技术的有力竞争者。
PREVAIL as the next generation of electron beam projection exposure technology, the use of variable axis immersion lens, silicon-based silicon carbide film for projection micro-exposure. In the 1mm2 sub-field case, the use of step-and-scan exposure, with a critical size of 100nm has a higher yield, together with the EUVL technology as a powerful competitor to the next generation of exposure technology.
其他文献
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
采用新电极结构的PECVD技术 ,在高功率密度、高氢稀释比、低温、偏压及低反应气压的条件下 ,在SiO2 玻璃表面形成双等离子流 ,增加了SiO2 表面SiC的成核几率 ,增强成核作用 ,
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统 ,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置 ,可方便取放滤波器。在理论分析的基础上 ,开展了光刻对比实验研究 ,实验研究
目的:探讨原发性食管小细胞癌(PESC)的临床特点和治疗方法。方法:21例PESC患者,12例在术前得到确诊行两个周期化疗,方案为DDP(顺铂)60 mg/m2+5-FU(5氟尿嘧啶)500 mg/m2+紫杉
大dà自zì然rán就jiù像xiànɡ一yí个ɡè伟wěi大dà又yòu富fù有yǒu想xiǎnɡ象xiànɡ力lì和hé创chuànɡ造zào力lì的de画huà家jiā，最zuì喜xǐ欢huɑn给ɡěi各ɡè种zhǒnɡ景jǐnɡ物wù涂tú上shànɡ五wǔ彩cǎi的de颜yán色sè，让rànɡ人rén为wèi之zhī惊jīnɡ叹tàn。下xià面miàn咱zán们men就jiù一yì起
研究了Ni MoS2 自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌 ,并分析其摩擦特性 ,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大 ;即使MoS2 含量较少 ,Ni MoS2 复合镀层的极
一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功。为了进一步提高微泵性能 ,研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性。结果表明 ,随着驱动电流和频率的增加 ,驱动膜有一个
目的:介绍Verrex系统在枕颈融合中的应用并评价其疗效.方法:对15例新鲜创伤和6例陈旧创伤畸形所致枕颈失稳病例.采用Vertex系统行枕颈融合术.结果:术后随访4～35个月,平均12个
首先介绍了稳定FEA电子发射均匀性和可靠性的几种结构,然后提出了以离子注入和干法刻蚀技术,在常规电阻率P型衬底上制成具有串联电阻负反馈特性的单片硅FEA.这些设计和工艺可