【摘 要】
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一、前言目前，LSI随着器件结构的微细化，运用多层布线技术的器件结构的多层化得到进一步发展。由于这种器件结构复杂，对用绝缘收掩埋在圆片上所形成的高纵横尺寸比台阶这一平坦
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一、前言目前，LSI随着器件结构的微细化，运用多层布线技术的器件结构的多层化得到进一步发展。由于这种器件结构复杂，对用绝缘收掩埋在圆片上所形成的高纵横尺寸比台阶这一平坦化技术的要求也就越来越严。近年来，作为解决这一问题的最有效伯措施则是采用TEOS[四乙氛基硅炼S
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