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文章提出了低压射频等离子体实验设计体系,应用飞行时间谱仪和Langmuir单探针,测得Langmuir型V-I曲线,其中包括等离子体温度信息.
低压射频等离子体实验研究
【摘 要】
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文章提出了低压射频等离子体实验设计体系,应用飞行时间谱仪和Langmuir单探针,测得Langmuir型V-I曲线,其中包括等离子体温度信息.
【机 构】
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哈尔滨学院物理与电子工程系
【出 处】
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哈尔滨学院学报
【发表日期】
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2002年8期
【基金项目】
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黑龙江省教育厅科学技术研究项目，哈尔滨学院校科研和教改项目
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