【摘 要】
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研究了光学自由曲面面形误差的评定算法．提出了5点定位和分步多级的曲面匹配法，对曲面的中心点和4个角点进行初匹配，提高匹配速度；运用最小二乘法和最小区域法相结合实现精匹配，实
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,香港理工大学先进光学制造中心
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研究了光学自由曲面面形误差的评定算法．提出了5点定位和分步多级的曲面匹配法，对曲面的中心点和4个角点进行初匹配，提高匹配速度；运用最小二乘法和最小区域法相结合实现精匹配，实现了实测曲面到设计曲面的高效高精度匹配．提出了一组基于给定容差μ的μ一系列光学自由曲面误差评定参数。使误差评定更具有有效性和灵活性．并通过实验验证了评定算法的准确性．
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