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<正> 一、引言四探针法是硅材料测量中经常采用的一种方法。用四探针法测量高阻硅单晶电阻率的测准条件一直受到国内外学者的重视。近年来,围绕着材料的表面处理、测试电流的选择、环境条件的要求等一系列问题进行了不少的探讨工作。本文对高阻硅材料四探针测试中电压测量仪器的选择及其对测量结果精确度的影响进行了分析。