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在氧化气氛中用分解五羰基铁的方法在玻璃基片上形成2600埃厚的Fe2O3薄膜。采用标准的光致抗蚀剂工艺以稀盐酸作腐蚀剂,获得具有1微米图形的透明掩模。
化学汽相淀积法制备的氧化铁透明光刻掩模
【摘 要】
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在氧化气氛中用分解五羰基铁的方法在玻璃基片上形成2600埃厚的Fe2O3薄膜。采用标准的光致抗蚀剂工艺以稀盐酸作腐蚀剂,获得具有1微米图形的透明掩模。
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2004年期
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