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讨论了三相椭偏方程对于解算膜厚大于一个周期的介质薄膜(厚膜)光学参数的原理和方法；给出了在WJZ型多功能激光椭偏仪上进行的测量实例及计算结果。
厚膜光学参数的椭偏消光法测量
【摘 要】
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讨论了三相椭偏方程对于解算膜厚大于一个周期的介质薄膜(厚膜)光学参数的原理和方法；给出了在WJZ型多功能激光椭偏仪上进行的测量实例及计算结果。
【机 构】
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天津理工一分院
【出 处】
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天津城市建设学院学报
【发表日期】
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1995年3期
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