【摘 要】
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(第二轮 )ＭＯＣＶＤ是化合物半导体薄膜材料的重要生长方法。目前不仅在半导体材料领域已获得产业化的应用 ,并且扩展到其他材料领域。ＭＯＣＶＤ的发展对光电子、微波器件的发展具有重大意义。
【机 构】
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第八届全国MOCVD学术会议组委会,吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室
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(第二轮 )ＭＯＣＶＤ是化合物半导体薄膜材料的重要生长方法。目前不仅在半导体材料领域已获得产业化的应用 ,并且扩展到其他材料领域。ＭＯＣＶＤ的发展对光电子、微波器件的发展具有重大意义。为了推动我国光电子、微波产业的发展 ,促进化合物半导体及相关材料薄膜制备技术水
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