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由于与生俱来的特性,微电子机械系统(microelectromechanical systems,简称MEMS)测试必须跨越电气与机械的分界线.MEMS设备总是既包含机械动作,又带有电气信号,因此在对这类设备的测试中两方面都要包括.
微电子机械系统的测量
【摘 要】
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由于与生俱来的特性,微电子机械系统(microelectromechanical systems,简称MEMS)测试必须跨越电气与机械的分界线.MEMS设备总是既包含机械动作,又带有电气信号,因此在对这类
【出 处】
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电子技术
【发表日期】
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2006年10期
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