【摘 要】
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设计了一种利用PSD测量位移的系统,利用数字信号处理技术同时测量照射在单片PSD上多个光点的位置,实现多个光点的位移同步检测.根据检测系统的特点,提出了PSD相位法位移检测
【机 构】
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重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆400044
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设计了一种利用PSD测量位移的系统,利用数字信号处理技术同时测量照射在单片PSD上多个光点的位置,实现多个光点的位移同步检测.根据检测系统的特点,提出了PSD相位法位移检测系统的总体方案,设计了检测系统的软件部分和硬件部分.搭建了检测系统的实验平台,在该实验平台上进行了PSD的多光束位移检测实验,实验表明,PSD在正弦调制光的照射下,PSD输出电流信号的相位差与光点的位置存在着明显的线性关系,PSD的转换灵敏度随着调制信号频率的增加而增加.研究工作为多光束位移同步检测提供了一种有效的解决方案.
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