氢气气氛下横向PNP晶体管电离损伤行为

来源 :太赫兹科学与电子信息学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaolch004

【摘要】

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无论氢在电子器件内部以何种形式(H2分子、H原子或H+离子)存在，均会对电子器件电离损伤产生作用，进而影响器件的抗辐照能力。本文深入研究了氢气和空气气氛条件下1MeV电子辐照

【作者】

：

李兴冀陈朝基杨剑群刘超铭马国亮

【机构】

：

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,中国空间技术研究院载人航天总体部

【出处】

：

太赫兹科学与电子信息学报

【发表日期】

：

2017年4期

【关键词】

：

双极晶体管电离辐射界面态深能级瞬态谱仪栅扫技术 bipolar junction transistor ionization radiation int

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无论氢在电子器件内部以何种形式(H2分子、H原子或H+离子)存在，均会对电子器件电离损伤产生作用，进而影响器件的抗辐照能力。本文深入研究了氢气和空气气氛条件下1MeV电子辐照栅控横向PNP(GLPNP)型双极晶体管的辐射损伤缺陷演化行为。利用Keithley4200SCS半导体参数测试仪对不同气氛下辐照过程中晶体管进行在线原位电性能参数测试，研究晶体管电性能退化与电子辐照注量和氢气深度之间的关系；基于栅扫技术(GS)和深能级瞬态谱技术(DLTS)，研究双极晶体管中氢诱导电离损伤缺陷演化的基本特征。研究表明

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