吉时利联合Stratophere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术

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【摘要】

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日前,吉时利（Keithley）仪器公司（NYSE代码：KEI）宣布将与Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale,CA）合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率

【出处】

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电子测试

【发表日期】

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2008年4期

【关键词】

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工艺特征吉时利技术研发集成电路制造参数成品率参数测试仪半导体工艺

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日前,吉时利（Keithley）仪器公司（NYSE代码：KEI）宣布将与Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale,CA）合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。吉时利与Stratosphere Solutions合作后将采用阵列测试元件组（TEG）技术展开先进工艺研发和监测工作。彼此共同的客户提供一种独特特征分析基本架构，采用吉时利S600系列参数测试仪和StratoPro^TM IP实现大容量、高产能、

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