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当样品气体引入了真空系统后，原壁面吸附的气体将被引入气体快速地置换而解吸出来，从而造成真空室内气体组分严重失真于样品气体，这对静态进行的质谱分析尤为严重。采用预充气法提高充气器体内气体的纯度和采用热封离法提高真空器件内的真空度等措施均基于这个原理。
真空系统中CO的置换解吸及对质谱分析的影响
【摘 要】
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当样品气体引入了真空系统后，原壁面吸附的气体将被引入气体快速地置换而解吸出来，从而造成真空室内气体组分严重失真于样品气体，这对静态进行的质谱分析尤为严重。采用预充气法
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年4期
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