【摘 要】
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MEMS制造由于其工艺的多样性一直以来都是采用IDM模式自主设计、制造为主流，随着MEMS成功进入消费电子产品中，吸引着大量Fabless公司介入其中。所以，用了近20年时间成功逼迫IDM
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MEMS制造由于其工艺的多样性一直以来都是采用IDM模式自主设计、制造为主流，随着MEMS成功进入消费电子产品中，吸引着大量Fabless公司介入其中。所以，用了近20年时间成功逼迫IDM公司纷纷在CMOS工艺线采用Fab-lite策略后，Foundry又向Analog领域发起冲击，而MEMS就是Foundry其中一个着力点。也许只有Foundry的介入，MEMS器件成本才有被迅速拉下的可能。
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