【摘 要】
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精密工作台存在的机械间隙是影响工作台定位精度的重要来源。基于采样双闭环和运动平滑处理对工作台误差进行补偿,这种方法与间隙大小无关,仅在进给的终点位置读取反馈误差并
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精密工作台存在的机械间隙是影响工作台定位精度的重要来源。基于采样双闭环和运动平滑处理对工作台误差进行补偿,这种方法与间隙大小无关,仅在进给的终点位置读取反馈误差并实时修正,给出了对精密工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位精度从25.00μm提高到1.14μm。通过理论分析和实验验证,表明采样双闭环和平滑处理结合的误差补偿方法对提高系统定位精度十分有效。
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