【摘 要】
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精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于精密工作台振动模型,采用极点配置、模型参
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精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于精密工作台振动模型,采用极点配置、模型参数匹配的方法设计PID控制器.通过实验,与PD+加速度前馈的控制方式相比较,当工作台以120mm/s、1g的加减速运动时工作台轨迹跟踪精度提高了2μm,定位建立时间缩短了10ms.结果表明,采用基于振动模型设计的PID运动控制具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能.
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