【摘 要】
：
PYZT铁电薄膜电容器的制备采用sol-gel方法,将约500 nm厚的PYZT薄膜沉积在Pt/Ti、Pt/SiO2及Pt/RuO2底电极上,基片为Si(111).详细分析研究了PYZT薄膜在不同底电极,不同快速热
【机 构】
：
华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
论文部分内容阅读
PYZT铁电薄膜电容器的制备采用sol-gel方法,将约500 nm厚的PYZT薄膜沉积在Pt/Ti、Pt/SiO2及Pt/RuO2底电极上,基片为Si(111).详细分析研究了PYZT薄膜在不同底电极,不同快速热处理温度下的晶相结构及PYZT铁电薄膜电容器的小信号特性.研究发现,沉积在Pt/RuO2底电极上的PYZT薄膜经800℃快速热处理具有较接近理想外延PYZT薄膜结构,而且εr随着快速热处理温度升高而减小,在800℃快速热处理条件下其εr约为150.
其他文献
莫言是第一个获得诺贝尔文学奖的中国籍作家。在莫言作品的众多译者当中，葛浩文是迄今为止唯一的英语译者，他无疑对莫言赢得诺贝尔奖起到了重要的作用。《蛙》是继莫言获得诺贝
对热解Ｔｉ（ＯＣ４Ｈ９）４＋ＡｇＮＯ３溶胶制备的ＴｉＯ２（Ａｇ）纳米半导体薄膜光催化特性与其结构的关系进行了研究。薄膜对二卡基砜的光催化降解结果表明，热解温度显著影响薄膜的光催化作用，这与ＴｉＯ２微粒的长大和晶相转变有关
看懂黄宾虹的,不会走这条路。因为,他们知道,这条路已经走到底了,你已经无路可走。●看不懂黄宾虹的,坚定地要走这条路。因为,他们不知道,这条路已经走到底了,你已经无路可走
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
到目前为止,电子管已有近百年的历史,尽管在半导体的冲击下有些型号电子管的原有功能已逐渐被人遗忘,但在20世纪60年代后出现的胆机潮中,电子管却在音响领域中大出风头。其
如今距果戈理的时代已过去一个多世纪，但是只要谈到俄罗斯文学，尤其是讽刺文学，就没有人会不想起这位伟大的作家。作为俄罗斯批判现实主义文学的开山人，果戈理享有太多的光环，车尔
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
华兹华斯是英国浪漫主义诗歌的重要代表人物,其作品展现了人与自然,人与人,人与社会之间的密切联系。两百多年来各派文学评论家从不同的角度对他的作品作出了不同的评论,因此
本文介绍一种全频响超重低音放大器,那么为什么超重低音放大器要具有全音域的频率响应呢?这是因为,实际音乐中的超低音并不像测试条件中输入的那种160Hz 以下的单一音频信号