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建立了超声键合压力的测量工作台，对工作台进行静态线性度标定和动态重复性测量，利用动态压电测力传感器对超声键合系统键合压力大小进行测量，得出不同压力作用下传感器力响应曲线图，分析其频谱图，发现保持某一固定功率（4．5格2．25W），可以找到合适的键合压力（5格0．719N）与其匹配。这些实验现象和结果可作为超声键合过程参数匹配及优化的依据。