【摘 要】
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接触式干涉仪被广泛地用来检定2～4等量块。按出厂说明书和检定规程要求,这种仪器的示值误差δ=±(0.03+3ni·△λ)。可是在一种不被注意的情况下,仪器的示值误差竟会达到0.3
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接触式干涉仪被广泛地用来检定2～4等量块。按出厂说明书和检定规程要求,这种仪器的示值误差δ=±(0.03+3ni·△λ)。可是在一种不被注意的情况下,仪器的示值误差竟会达到0.3微米左右。这种情况在实际使用中又是可能出现的,因而有必要对此加以认识。
Contact interferometers are widely used to test 2 to 4 equal blocks. According to the factory instructions and verification requirements, this instrument shows the value of the error δ = ± (0.03 +3ni · △ λ). However, in an unobtrusive situation, the instrument’s indication error can reach about 0.3 microns. This situation is again likely to occur in actual use, so it is necessary to understand this.
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