【摘 要】
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由于X射线谱线的背景干扰和曲率变化,使得电子探针定量分析会产生误差,且元素质量分数越低误差越显著。为准确测量和扣除X射线谱线背景,研究了谱线背景的测量和扣除方法,并设
【机 构】
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吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林大学测试科学实验中心
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由于X射线谱线的背景干扰和曲率变化,使得电子探针定量分析会产生误差,且元素质量分数越低误差越显著。为准确测量和扣除X射线谱线背景,研究了谱线背景的测量和扣除方法,并设计了相应控制测量软件。首先通过完善的元素特征X射线波长数据库判断出测量元素的背景干扰情况,对有干扰或有曲率变化的谱线背景进行多点精细测量,再采用线性或多项式拟合方法计算扣除背景。对标准样品III-HN8520和I-E078l进行了测试,结果表明,该方法比原方法降低了谱线干扰,提高了定量分析数据的准确性。
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