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通过对TFT-LCD制造中PHOTO工艺PVX OPEN不良产生机理的研究,提出改善PVX OPEN不良的方法。分析表明PVX OPEN不良主要成因为PR胶涂布前细菌粘附在玻璃基板上,曝光显影后造成PR胶破洞,PVX刻蚀工序完成后形成对应位置PVX OPEN;通过改善生产气流及定期清理细菌等措施,PVX OPEN发生率由最初的6%以上降低到0.5%以下,且改善周期可持续2个月以上。