【摘 要】
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本文首次报道离子注入对一系列多孔硅性质的影响.离子辐照引入多孔硅成孔中心,影响多孔硅的形成.随辐照剂量增加,PL谱峰波长红移,强度下降,半高宽变窄,使制备多孔硅发光图形成为可能.
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本文首次报道离子注入对一系列多孔硅性质的影响.离子辐照引入多孔硅成孔中心,影响多孔硅的形成.随辐照剂量增加,PL谱峰波长红移,强度下降,半高宽变窄,使制备多孔硅发光图形成为可能.
This paper reports for the first time the effects of ion implantation on the properties of a series of porous silicon. Ionic irradiation into porous silicon into the hole center, affecting the formation of porous silicon. With the increase of irradiation dose, the red shift of PL peak wavelength, the decrease of intensity and the narrowing of FWHM make it possible to prepare porous silicon luminescence pattern.
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