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综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理，对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述，并对其特性和应用做了简单介绍．
化学增幅型光致抗蚀剂用光产酸剂
【摘 要】
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综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理，对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述，并对其特性和应用做了简单介绍．
【机 构】
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吉林化工学院材料科学与工程研究中心,中国石油吉林石化公司乙烯厂,吉林市龙潭区第二实验幼儿园,吉林化工学院研究生处
【出 处】
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吉林化工学院学报
【发表日期】
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2012年11期
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