【摘 要】
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用CH4,NH3 和H2 为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对它们进行
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用CH4,NH3 和H2 为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对它们进行了研究.结果发现,尽管碳纳米管在相同的生长条件下生长在同样的衬底上,其直径和长度仍不同, 表明它们是非均匀生长.应用有关热力学理论研究了碳纳米管生长的非均匀性,结果表明,碳纳米管的非均匀生长是由催化剂颗粒的大小不同所致.
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