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主要介绍了一种高精度基片预对准机的设计思想，机构组成，工作原理和精度分析。
一种高精度基片预对准机构
【摘 要】
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主要介绍了一种高精度基片预对准机的设计思想，机构组成，工作原理和精度分析。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1997年1期
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