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建立了基于数控装备的液流悬浮超光滑加工系统，研制了可控制加工压力的柔顺加工装置。应用流体动压理论分析了液流悬浮超光滑加工过程中的流体动压力分布规律，研究了工具转速和加工间隙对流体动压力的影响规律，并通过实验得到了加工间隙和流体动压力对加工效果的影响规律。结果表明，随着工具转速的提高，流体动压力逐步增大，在工具转速为6000r／min左右时，流体动压力达到最大值，然后又逐渐减小。随着加工间隙的增大，流体动压力逐步降低，并最终趋于稳定。加工间隙在5～40μm时，加工效果比较明显。在工具转速为6000r／min