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<正>随着移动智能终端、物联网、云计算等新信息技术的普及,人们对于从多渠道、多视角获得的海量信息的存储需求不断增加,发展超高密度、超大容量的数据存储技术已经成为信息产业发展的关键。然而,在微电子器件尺寸不断缩小的进程中,当前主流的硅基浮栅存储技术在存取速度、可靠性和集成工艺等方面将面临一系列理论