【摘 要】
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电学特性的差别使得GaAs器件能够获得高频性能,与此类似,GaAs的化学和物理学特性的差别也使得GaAs工艺(与硅相比)有所不同。
Similar to the differences in the electrical
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电学特性的差别使得GaAs器件能够获得高频性能,与此类似,GaAs的化学和物理学特性的差别也使得GaAs工艺(与硅相比)有所不同。
Similar to the differences in the electrical characteristics of GaAs devices, the difference between the chemical and physical characteristics of GaAs also makes the GaAs process somewhat different from that of silicon.
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