【摘 要】
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连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用，现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题。为了解决上述问题，该文提出一种基于
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然科学基金(61372054);北京市自然科学基金(4152056)~~
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连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用，现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题。为了解决上述问题，该文提出一种基于MEMS的非侵入式无线无源型眼压传感器。该传感器为5层堆叠结构，采用Parylene作为柔性衬底层、铜作为电极层、PDMS作为介电层，其中电极层和介电层构成两个电感和两个电容，形成C—L—C—L串联谐振电路。通过MEMS平面工艺和热塑形方法制作成能够与眼球紧密贴合的曲面形状，这种设计方案能有效地解决传感器的制作工艺难度大等问题。实验结果表明：该
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