高精度格网标准板的研制

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本文详细介绍了200mm×200mm高精度格网标准板的制作工艺。在研制过程中采用了激光测长技术、光电瞄准技术、高精度光子平板玻璃研磨、镀膜及刻划技术。使格网标准板的点位误差经中国计量科学院鉴测已达2μm,达到国内目前先进水平。本文还对格网标准板的误差进行了分析。 This article describes in detail the 200mm × 200mm precision grid standard board production process. In the development process using a laser measuring technology, optical aiming technology, high-precision photonic flat glass grinding, coating and scoring technology. The grid standard board point error by the Chinese Academy of Metrology has reached 2μm, reaching the current advanced level in China. The article also analyzes the error of grid standard board.
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