【摘 要】
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本工作主要研究了超高真空环境中(6.7×10~(18)Pa)多晶Al、Mo、Cu表面在3keV能量电子束的轰击下,表面化学态的变化。利用AES(俄歇电子能谱)中的一些化学态讯息,对电子诱导表
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本工作主要研究了超高真空环境中(6.7×10~(18)Pa)多晶Al、Mo、Cu表面在3keV能量电子束的轰击下,表面化学态的变化。利用AES(俄歇电子能谱)中的一些化学态讯息,对电子诱导表面化学态变化的过程进行了观察,并对这些变化的机理进行了探讨。
In this work, the surface chemical states of polycrystalline Al, Mo and Cu (6.7 × 10 ~ (18) Pa) superhigh-vacuum environment under the bombardment of 3 keV electron beam are investigated. Using AES (Auger Electron Spectroscopy) some of the chemical state of the information on the surface of the electron-induced chemical state changes were observed, and the mechanism of these changes are discussed.
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