基于SU-8胶转子的非接触压电微马达

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【摘要】

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研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程.利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压

【作者】

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杨斌刘景全周广华陈迪张金娅蔡炳初

【机构】

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上海交通大学

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2005年1期

【关键词】

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SU-8胶转子非接触压电微马达 SU-8 resist rotor non-contact piezoelectric micromotor

【基金项目】

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中国科学院资助项目

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研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程.利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子.转子半径为6 mm,叶片宽度为6 mm的三叶片转子转速最高为3 569r/min.转子的启动电压和最高电压分别为8 V和24 V.

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