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针对在线检测系统中触发式测头存在预行程误差问题，建立了测头预行程误差的实验模型。采用基于正则化砌弭神经网络算法，在对网络进行训练的基础上，建立了相应的触发式测头预行程的误差模型。对触发式测头在空间不同法矢上的预行程误差进行预测，并将得到的预测结果与实验中得到的实际结果对比验证。实验结果表明，利用正则化RBF神经网络，能较好地解决对触发式测头不同法矢下的预行程误差的预测问题。