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微小尺寸夫朗荷费衍射测量中的误差研究
微小尺寸夫朗荷费衍射测量中的误差研究
来源 :宇航计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ligc66
【摘 要】
:
分析了用夫朗荷费衍射测量微小尺寸的原理误差,包括夫朗荷费近似误差和极值特征点位置探测误差,以狭缝为例,利用计算机仿真技术对该两项系统误差进行了修正。
【作 者】
:
颜树华
吕海宝
【机 构】
:
国防科技大学
【出 处】
:
宇航计测技术
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
夫朗荷费衍射
误差分析
微小尺寸
尺寸测量
Fraunhofer diffraction
Error analysis
Simulation
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分析了用夫朗荷费衍射测量微小尺寸的原理误差,包括夫朗荷费近似误差和极值特征点位置探测误差,以狭缝为例,利用计算机仿真技术对该两项系统误差进行了修正。
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