【摘 要】
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文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技术指标。即工件台行程X·Y分别为135×110毫
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文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技术指标。即工件台行程X·Y分别为135×110毫米,激光干涉仪分辩率为0.02微米,工件台定位精度±1微米,最大速度20毫米/秒,步进速度0.11秒/2毫米,真空度达到2×10~(-5)托。
This paper outlines the error analysis of the system structure design, illustrates the main design ideas and structural features, introduces the machine overview and operating control principles. Finally, the main technical indicators reached are listed. That the workpiece table travel X · Y were 135 × 110 mm, the laser interferometer resolution of 0.02 microns, the workpiece positioning accuracy ± 1 microns, the maximum speed of 20 mm / s, the pace of 0.11 seconds / 2 mm, the degree of vacuum to 2 × 10 ~ (-5) care.
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