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本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜，研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性。
石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究
【摘 要】
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本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜，研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性。
【机 构】
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扬州大学扬州225009中国科学院等离子体物理研究所合肥230031
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年z1期
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