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TFT-LCD制造技术,涉及半导体加工,集成电路整合等多种技术。TFT-LCD制造设备的稳定性对提高产品品质、降低成本及提高生产率有较大影响。根据现有IC绑定压头调整平坦度方案,提出了改进方案,设计了压头的实时检测系统,对设计的压头系统进行了原理分析和实验标定方案设计。实验结果表明,自动调整平坦度压头系统能够满足应用要求。