Si/Si1—xGex应变层异质结双极晶体管(HBT)交直流特性的仿真研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:owenzhong2012
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本文报道了Si/Si1-xGex应变异质结双极晶体管(HBT)交直流特性的仿真结果,通过用叠代法求解漂移-扩散方程的数值解,确定器件的直流特性,再利用瞬态激励法,求解器件的交流特性参数,将基区Ge摩尔含量x为0.2,0.31的HBT的模拟结果分别与有关文献报道的实验结果进行了比较,两者的结果符合良好。
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