真空技术在微电子学、生物学中的应用预测

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对2000年真空科学和技术的展望,国内外很多学者发表过精辟的见解。笔者仅就教学和科研中接触到的一些情况,提一点粗浅看法。一、真空技术和微电子学微电子学(包括光电子学)一开始就与真空技术紧密相关。微电子学的元器件性能取决于它的微观结构,而微观结构又取决于真空沉积条件。 On the prospect of vacuum science and technology in 2000, many scholars at home and abroad have published brilliant insights. The author only in teaching and research exposure to some of the conditions, to mention a little superficial view. First, vacuum technology and microelectronics Microelectronics (including optoelectronics) from the very beginning and vacuum technology is closely related. The performance of microelectronics components depends on its microstructure, which in turn depends on the vacuum deposition conditions.
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