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微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术,形成了很多独特的微机械加工技术.这些技术的运用解决了很多关键性技术问题,极大地推进了微机械传感器技术的发展.本文从体微机械加工、表面微机械加工和LIGA技术三方面论述化学技术在近来新型传感器发展中的技术突破和成果.