基于微梁谐振原理的相对湿度检测技术

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 4次 | 上传用户：ronglao2009

【摘要】

：

提出了一种基于微梁谐振原理的相对湿度检测方法.建立了微梁谐振频率与环境相对湿度的函数关系,通过检测谐振频率可以测量环境相对湿度.利用压电微梁直接激励法进行实验,得出了30%~80%湿度范围内微梁谐振频率与相对湿度的关系曲线.经实验验证,基于谐振原理的微梁湿度传感器有良好的精度和重复性,分辨率可达0.2%RH,精度优于±2.0%RH.微梁湿度传感器体积小、响应快、精度高,在微机电系统和微全分析系统中

【作者】

：

李艳宁李树民郭彤房轩傅星胡小唐

【机构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2007年02期

【关键词】

：

微梁谐振频率相对湿度微机电系统 microcantilever resonant frequency relative humidity micro el

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