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研究了铁电电容的制作工艺，摸索了Ｐ（Ｌ）ＺＴ铁电薄膜及上、下电极材料的微细图形加工工艺条件，总结出切实可行的工艺流程及相应的工艺条件。
铁电微电容的制作工艺
【摘 要】
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研究了铁电电容的制作工艺，摸索了Ｐ（Ｌ）ＺＴ铁电薄膜及上、下电极材料的微细图形加工工艺条件，总结出切实可行的工艺流程及相应的工艺条件。
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1995年1期
【基金项目】
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“八六·三”攻关项目
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