【摘 要】
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本文介绍了用普通镀膜机制备YBaCuO超导膜的过程。增加一台计数式频率计,可提高控制Y、Ba、Cu三种元系重量比精度,使工艺能重复,膜的性能稳定。热处理后得到了以c轴织构为主
【机 构】
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本文介绍了用普通镀膜机制备YBaCuO超导膜的过程。增加一台计数式频率计,可提高控制Y、Ba、Cu三种元系重量比精度,使工艺能重复,膜的性能稳定。热处理后得到了以c轴织构为主的和零电阻温度大于80K的YBaCuO超导膜。分析了超导膜的结晶态与退火条件的关系。
This article describes the use of ordinary coating machine YBaCuO superconducting film process. The addition of a counter-type frequency meter can improve the control of Y, Ba, Cu three yuan weight ratio accuracy, the process can be repeated, the membrane performance and stability. YBaCuO superconducting film with c-axis texture and zero-resistance temperature greater than 80K was obtained after heat treatment. The relationship between the crystalline state of the superconducting film and annealing conditions was analyzed.
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