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锆钛酸铅(PZT)材料有着优良的压电性能,其薄膜具有高机电耦合系数、高品质因数的特点,适合于制作低插损、大带宽的射频(RF)滤波器.文中介绍了RF体声波滤波器的原理、结构和PZT的材料特性,探讨了PZT薄膜的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化,并在此基础上设计了应用PZT薄膜的体声波滤波器,模拟了该器件的性能.