【摘 要】
：
本文着重介绍了LiNbO_3、LiTaO_3、Bi_(12)GeO_(20)及石英等压电氧化物晶体的反应离子刻蚀及其刻蚀特性、工艺概况,并就工艺中存在的掩膜、刻蚀气体及机理等问题进行了讨论。
【机 构】
：
四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所
论文部分内容阅读
本文着重介绍了LiNbO_3、LiTaO_3、Bi_(12)GeO_(20)及石英等压电氧化物晶体的反应离子刻蚀及其刻蚀特性、工艺概况,并就工艺中存在的掩膜、刻蚀气体及机理等问题进行了讨论。
This article focuses on reactive ion etching and its etching properties, process overview of LiNbO_3, LiTaO_3, Bi_ (12) GeO_ (20) and quartz piezoelectric crystals. In addition, the existence of masks, etching gases And mechanism and other issues were discussed.
其他文献
语文教材中,文质兼备的文学作品占据相当的篇幅.这里有对祖国的爱、对人民的忠、对事业的追求、对信念的执著;这里有赤子之心、莫逆之交、朋友之情、手足之谊;这里有拍案而起
目的 观察聚四氢呋喃聚乳酸 (共聚物 C4 )作为可降解玻璃体替代物对孔源性视网膜脱离的治疗效果。 方法 32只健康有色成年家兔 6 4只眼制成孔源性视网膜脱离模型 ,行玻璃
马尾松9个地理种源核型研究表明，马尾松核型为2n＝24＝24m，均为中央着丝粒染色体，属于较原始的“IA”类型。不对称系数分析表明，分布在中心分布区的潜山等种源的核型较为对称；而分布在
目的 研究球后阻滞麻醉中使用透明质酸酶对眼内压及间接眶压的影响.方法采用双盲法,将40例40只白内障术眼随机分成两组:一组用添加150U透明质酸酶的麻药作球后阻滞麻醉,另一组则用添加生理盐水的麻药.分别测量麻醉前、麻醉后即刻、麻醉后5、10、15、20和30分钟的眼内压及间接眶压值,做对比分析.结果球后阻滞麻醉后两组术眼的眼内压及间接眶压均较麻醉前升高,其中透明质酸酶组眼内压及间接眶压的升高幅度和
每个明星都有属于自己最好的时代,选择急流勇退的,观众总会盼望有朝一日他们能重出江湖。观众是最残酷的,也最公平,骨子里喜新厌旧,爱看热闹,特别暗爽于名人败北,而一个跌落
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
沙中淘“绿”浅谈柴达木盆地沙产业的发展张胜邦钱学森教授曾指出，沙产业就是在“不毛之地”上搞农业生产。也就是用现代生物科学技术，再加上水利工程、计算机自动控制等前沿高
本文提出一种将位移测量转化为时间测量的技术。讨论了激光强度起伏对位移测量的影响及其克服方法。
This article presents a technique that translates displacement mea
时至今日,在我国政府现行的管理体制中,从较早的海关、税务、工商,再到质监、国土等一些重要的行政执法部门,都已经从地方政府序列退出,改为中央或省以下垂直管理。而日前有
摘要：本文从形成性评价的意义、形成性评价的实践和实施效果分析三方面入手，探讨了如何在初中英语课堂教学中实施形成性评价。 关键词：初中英语；课堂教学；形成性评价 中图分类号：G427文献标识码：A 文章编号：1992-7711（2014）18-054-1一、形成性评价的实践 1.案例1：口语。A同学在课前已经准备好了一段自我介绍，他在准备的时候已经根据事先下发的“口语表达评估表”里的三项评价准