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简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工。
微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术
【摘 要】
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简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工。
【机 构】
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哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,黑龙江广播电视大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年3期
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