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论文提出了O．5μmCMOSI艺圆片级可靠性iWLR）评估的方法，为工艺、电路可靠性提高和及时在线控制开拓了新思路。论文针对O．5μm工艺中金属电迁移以及器件热载流子等失效项，分别给出了相关内容的工艺物理机理、测试结构、测试方法和结果。测试得出单一电迁移失效、热载流子失效寿命可以达到1×109数量级（几十年），初步实现了工艺可靠性的在线监控。