【摘 要】
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为了提高MEMS陀螺仪的温度性能，基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头，设计了一种芯片级温控系统．首先，研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺，分析了温
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程学院,东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
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为了提高MEMS陀螺仪的温度性能，基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头，设计了一种芯片级温控系统．首先，研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺，分析了温控系统的工作原理．然后，建立了表头内部的温度模型，利用Ziegler—Nichols经验参数法，确定了PID参数并进行系统仿真，验证了控制系统的快速性和稳定性．最后，结合模型和仿真参数设计了温控电路，并通过温度实验得到了微热敏电阻的温度特性曲线．结果显示：温控系统可将表头内温度控制在设定温度点附近；表头腔内温度和驱动模态谐振频率在
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