国外高深宽比微细结构制造技术的发展

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wxhex2008

【摘要】

：

介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加

【作者】

：

徐惠宇朱荻

【机构】

：

南京航空航天大学机电工程学院

【出处】

：

传感器技术

【发表日期】

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2004年12期

【关键词】

：

高深宽比微细结构光刻电铸和模铸准LIGA 深层反应离子刻蚀

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介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学沉积、立体光固化微加工、微细电解加工等一些新发展的高深宽比微细结构技术.

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