【摘 要】
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制造微机械需要超小型驱动源．在制作超小型驱动源的几种待选材料中，形状记忆薄膜以其灵敏度高、驱动力大，位移量大而很具实用性．有关TINi薄膜的制作方法已有不少报道．但对其形状记
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制造微机械需要超小型驱动源．在制作超小型驱动源的几种待选材料中，形状记忆薄膜以其灵敏度高、驱动力大，位移量大而很具实用性．有关TINi薄膜的制作方法已有不少报道．但对其形状记忆行为的研究尚不十分理想．原因是该薄膜的形状记忆行为易受溅散条件、污染、合会化、热处?
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